氧化亚硅的生产装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种氧化亚硅的生产装置,包括真空室、原料容器、加热源、支架、析出基体,原料容器、加热源、支架、析出基体均位于真空室内,加热源设置在原料容器上或者围绕在原料容器的周围,析出基体设置在支架上,还包括将氧化亚硅从析出基体上刮下来的刮削机构,刮削机构设置于真空室内。本实用新型可避免沉积在析出基体上的氧化亚硅受到温度影响而使品质下降。

基本信息
专利标题 :
氧化亚硅的生产装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022225333.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-08
授权号 :
CN214087742U
授权日 :
2021-08-31
发明人 :
袁正秋许曙光禹方甜
申请人 :
孚林(常州)新材料科技有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区信息大道6号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022225333.8
主分类号 :
C01B33/113
IPC分类号 :
C01B33/113  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/113
氧化硅;其水合物
法律状态
2021-08-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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