本发明属于氧化亚硅的制备领域，公开一种氧化亚硅生产装置以及利用其制备氧化亚硅的方法。包括加热仓和沉积仓，加热仓内腔水平固定一陶瓷管，陶瓷管的两端分别通过输送机构连接于沉积仓的进气口；沉积仓的仓壁为连通的空腔，空腔上分别连接有冷却液进口和冷却液出口；沉积仓的内部设有可转动的加热辊，加热辊设置于沉积仓进气口的侧上方，加热辊的中心轴线与沉积仓的进气口中心轴线不相交但相互垂直，沉积仓内在加热辊远离沉积仓进气口的位置固定设有能够刮除加热辊辊面沉积物的刮粉块。本发明以旋转的加热辊作为沉积基体，沉积过程中加热辊保持转动，并与刮粉块相配合，解决了氧化亚硅沉积温度不同导致的产品品控问题，大大提升氧化亚硅的质量。