本发明公开了一种纳米氧化亚硅粉体的制备方法，硅粉的进料、二氧化硅粉的喷入、工质气体的进入及纳米氧化亚硅粉体的制备在封闭腔室内连续进行：从上部连通硅粉加料装置的硅粉进料管进料，圆形顶板上的多支与水电气连通的等离子枪产生的交叉的等离子弧矩将硅粉进料管出口处的硅粉在蒸发腔室内蒸发得到硅蒸气；反应腔室的多根二氧化硅粉喷入管喷入二氧化硅粉，工质气体进气管中的工质气体进入反应腔室可带动粉体旋转，并将二氧化硅粉和冷却后的硅蒸气形成的硅粉冷却、相互反应后并送至下部的冷凝腔室进一步冷凝和反应后，构成纳米氧化亚硅粉体。该方法生产效率高且制备出的氧化亚硅粉体粒径分布合理、粉体球形度高、分散性好。