本发明公开了一种高首效氧化亚硅负极及其制备方法，涉及储能材料技术领域，为解决氧化亚硅负极材料的首效或容量性能不佳，严重制约了氧化亚硅负极的推广和使用的问题；本发明包括将碳包覆后的氧化亚硅和氢化锂在惰性气体氛围下物理混合；将混合后的物料转移到加热装置中，在惰性气体氛围下加热碳化；将碳化后的物料进行打散；本发明，工艺简单，成本低，易于产业化，强还原剂氢化锂可以显著提升氧化亚硅负极材料的首效，还原前先进行碳包覆可以控制强还原剂氢化锂的还原速度，确保有效降低硅的晶粒尺寸，以降低材料的化学膨胀，大幅提升循环性能。