一种主镜结构简化的平面干涉仪
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摘要

本实用新型公开了一种主镜结构简化的平面干涉仪,包括壳体,所述壳体的内部顶壁安装有激光灯,所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第一固定板,两个所述第一固定板相邻的一侧固定连接有分光棱镜,所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第二固定板,两个所述第二固定板相邻的一侧固定连接有主镜,所述主镜的上表面一体成型有弧面部,在本装置使用的过程中,通过主镜一体成型的弧面部和平面部,简化平面干涉仪的主镜结构,从而降低了平面干涉仪的制造成本,利于平面干涉仪生产使用,且在使用的过程中,主镜一体成型的弧面部和平面部,减小了主体的整体变形,同时简化主镜结构,使得在平面干涉仪装配的过程中操作更加简便,便于对平面干涉仪进行装配。

基本信息
专利标题 :
一种主镜结构简化的平面干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022282291.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-14
授权号 :
CN213120456U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
马仁勇
申请人 :
上海翔野光学科技有限公司
申请人地址 :
上海市嘉定区南翔镇田旺路65号1幢东侧
代理机构 :
深圳市创富知识产权代理有限公司
代理人 :
高红
优先权 :
CN202022282291.1
主分类号 :
G01B11/30
IPC分类号 :
G01B11/30  G01B9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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