一种基板减薄装置
授权
摘要

本实用新型涉及液晶显示技术领域,公开了一种基板减薄装置。所述基板减薄装置包括反应槽、篮具、喷淋组件及供液组件,其中,反应槽内盛装有刻蚀介质,篮具用于将基板支撑为竖直姿态,且篮具容置于反应槽内,基板浸没于所述刻蚀介质,基板的两侧均设置有所述喷淋组件,供液组件与喷淋组件相连通,喷淋组件用于朝其正对的基板喷射液柱,以使基板保持竖直姿态。本实用新型的基板减薄装置,基板在减薄变软后,其两侧的喷淋组件喷射的液柱能够使基板保持平衡,并在水平方向支撑基板,使基板保持竖直姿态以继续减薄到更薄的尺寸;基板的两侧同时进行减薄,减薄效率高;减薄过程不需对基板进行其他操作,不易损伤基板,产品良率高。

基本信息
专利标题 :
一种基板减薄装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022301624.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN213506583U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
陆卉
申请人 :
昆山龙腾光电股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN202022301624.0
主分类号 :
C03C15/00
IPC分类号 :
C03C15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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