一种用于基板减薄的清洗装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种用于基板减薄的清洗装置，所述清洗装置包括清洗部、驱动部和承载部，所述承载部为板状结构，所述驱动部设置于所述承载部的侧面，所述清洗部与所述驱动部连接，所述驱动部驱动清洗部旋转以清洗吸盘工作台或基板；所述清洗部包括第一清洗单元和第二清洗单元，其中一个清洗单元的底部配置有刷体及修整体，以清洗吸盘工作台；其中另一个清洗单元的底部配置有刷体，以清洗基板。
基本信息
专利标题 ：
一种用于基板减薄的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114472276A
申请号 ：
CN202111666654.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵德文路新春刘远航
申请人 ：
华海清科股份有限公司
申请人地址 ：
天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道11号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111666654.4
主分类号 ：
B08B1/04
IPC分类号 ：
B08B1/04 B08B3/02 B08B5/02 B08B13/00 B24B27/033 B24B37/34 B24B41/04 B24B47/12 B24B55/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 1/04
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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