本实用新型属于超声波清洗技术领域，尤其为一种用于PVD真空镀膜工件的超声波清洗装置，包括箱体，所述箱体的顶部开设有入料口，所述入料口的一侧安装有水箱，所述箱体的下方安装有第一污水处理箱，所述第一污水处理箱的一侧安装有药剂箱，所述箱体的一侧安装有冲洗烘干箱。该装置通过第一污水处理箱对水基清洗剂进行过滤处理使水基清洗剂可以循环利用，通过安装有药剂处理槽对工件利用酸溶液去除表面上的氧化皮和锈蚀物使工件更易真空镀膜，在通过冲洗烘干箱对工件进行冲洗和烘干处理，使工件表面没有残留物同时对工件的表面干燥处理，安装有第二污水处理箱对酸溶液进行过滤处理，使酸溶液重复利用，减小成本。