特种工件真空镀膜控制系统

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

摘要

本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插板阀的开启或关闭；第二泵组驱动单元，驱动第二泵组启动；离子源启动单元，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源；中频电源启动单元，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源；第二插板阀启闭驱动单元，驱动第二插板阀的开启或关闭。本实用新型实施例，通过真空镀膜控制系统，至少可按镀膜工序的要求实现对真空镀膜设备的全自动化控制，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

基本信息

专利标题：

特种工件真空镀膜控制系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020614914.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-22

授权号：

CN213086105U

授权日：

2021-04-30

发明人：

李星钟玉盛徐从高

申请人：

广东生波尔光电技术有限公司

申请人地址：

广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座)

代理机构：

中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

石仁

优先权：

CN202020614914.8

主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/56 C23C14/54