一种特种工件镀膜方法
授权
摘要
本发明实施例公开了一种特种工件镀膜方法，至少包括如下步骤：工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料。本发明实施例，可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序，实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理，自动化程度高。
基本信息
专利标题 ：
一种特种工件镀膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111500984A
申请号 ：
CN202010321997.6
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2020-04-22
授权号 ：
CN111500984B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
姜翠宁高文波徐从高李本嫣
申请人 ：
广东生波尔光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座)
代理机构 ：
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
石仁
优先权 ：
CN202010321997.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/22
申请日 : 20200422
申请日 : 20200422
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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