工件架旋转系统以及真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、转动组件和驱动系统，所述转动组件设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置，所述驱动系统驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。本实用新型提供的技术方案能够实现对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。
基本信息
专利标题 ：
工件架旋转系统以及真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021541253.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212388106U
授权日 ：
2021-01-22
发明人 ：
李刘合毛迎东孙玉强寇淑文
申请人 ：
北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市潍坊高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1006房间-02号
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
关向兰
优先权 ：
CN202021541253.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-01-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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