一种真空镀膜机用的工件自旋转机构
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用的工件自旋转机构，包括机体，所述机体的内部开设有机仓，所述机仓内部安装有第一竖架,所述第二横杆皆贯穿轮槽和第二竖架延伸至一组所述第一固槽相互靠近的一端，所述第一竖架上下两端的表面均匀固定连接有刷架，一组所述推块相互靠近的一端皆固定连接有拉块，所述底块杆的底部皆位于顶槽的内部。本实用新型提高了该装置的适用性，适用于不同的轮体，且操作简单，提高了该装置的实用性，有效的清理机仓内部的灰尘，使得机仓内壁保持清洁，且清洁更佳便捷，节约了清理机仓内壁所需要的时间。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机用的工件自旋转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021910748.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN213295498U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
张玉龙仇得弟张宗坡
申请人 ：
唐山佳坤钛金科技工程有限公司
申请人地址 ：
河北省唐山市高新区银河路66号二排5号
代理机构 ：
天津市鼎拓知识产权代理有限公司
代理人 ：
任小鹏
优先权 ：
CN202021910748.2
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458 C23C14/56 C23C16/44 B08B9/087
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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