一种真空镀膜机的工件架
授权
摘要
本实用新型提供一种真空镀膜机的工件架，包括：底座、托盘、承托板、电机、转动盘结构、转动轴以及工件支撑架，所述底座上表面安装有转动盘结构，所述转动盘结构上表面安装有保护外壳,所述转动盘结构下表面安装有电机，电机位于底座内部，所述电机上端设有主动轮盘，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置电机和工件支撑架，使得真空镀膜时工件的旋转方式增加，避免工件因旋转方式单一导致的表面镀膜层厚度不一的问题，承托板和托盘的设计，使得工件之间的间隙增加，避免因真空环境中气氛流动性小，当工件量较大，排列间隙较小时，工件下层镀膜完整性较差的问题，提高了镀膜的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的工件架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022097878.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213772198U
授权日 ：
2021-07-23
发明人 ：
卢林松
申请人 ：
苏州双石真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区望亭镇何家角村何杭路551号一楼
代理机构 ：
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘盼盼
优先权 ：
CN202022097878.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-07-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
