一种使工件均匀受热的真空镀膜设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种使工件均匀受热的真空镀膜设备,包括底板,所述底板的顶部固定连接有真空镀膜箱,所述真空镀膜箱内腔的顶部固定连接有工作台,所述工作台的内部开设有气密性槽,本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域。该使工件均匀受热的真空镀膜设备,通过设置电性伸缩件带动两个活塞向两侧滑动,利用气压推动气密性塞在通槽的内表面向上运动,从而带动支撑柱顶起工件,利用第一加热装置和第一加热管对工件底部的中间部位进行预加热,并配合第二加热装置和第二加热管对工件底部的边沿进行预加热,无需人工进行翻转加热工件的底部,不仅操作过程简单,人工劳动强度小,而且受热均匀,极大的提高后续镀膜的效果。

基本信息
专利标题 :
一种使工件均匀受热的真空镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921473477.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-06
授权号 :
CN210886188U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
常江常满陈国奇汪洋
申请人 :
成都市江泰真空镀膜科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市武侯区高新区永丰路22号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921473477.6
主分类号 :
C23C14/02
IPC分类号 :
C23C14/02  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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