一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置，包括烧结炉芯管、沉积靶棒和保护托盘；所述沉积靶棒上沉积有松散体；沉积有松散体的沉积靶棒安装于所述烧结炉芯管中；所述沉积靶棒的尾端设有安装孔，该安装孔上横向穿设有一陶瓷销子；所述保护托盘为敞口结构，其具有盘底和设置于盘底的边部上的敞口盘罩；所述保护托盘的盘底的中部具有中心孔，保护托盘利用其中心孔套装于沉积靶棒上，且保护托盘支撑于所述陶瓷销子上；所述保护托盘的敞口盘罩的直径大于松散体的直径。本实用新型可以避免出现砸伤炉芯管的现象，可以有效的保护炉芯管，减少安全隐患，提高生产效率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022333321.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN212713263U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
吴龙波杨金鑫巫维捷柏文俊胡景
申请人 ：
江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江经济技术开发区古塘路以南
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
李小叶
优先权 ：
CN202022333321.7
主分类号 ：
C03B37/014
IPC分类号 ：
C03B37/014
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B37/00
由软化的玻璃、矿物或渣制的絮片、纤维或细丝的制造或处理
C03B37/01
玻璃纤维或细丝的制造
C03B37/012
拉制纤维或细丝用预制棒的制造
C03B37/014
完全或部分用化学方法制造
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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