一种气相沉积炉安装保护装置
授权
摘要
本实用新型的目的是提供一种气相沉积炉安装保护装置，其特征在于：由套管、防撞层、护板结构和减撞垫组成，套管为圆柱形中空结构，护板结构为弧形结构；整个套管、护板结构均采用PVC材质，小巧轻便、结实耐用，整体结构简单、使用方便，能够对气相沉积炉的内部进行清理，防止安装时衬底柱与阳极发生碰撞，导致阳极表面出现瑕疵、裂纹等不良现象，从而避免影响后续金刚石沉积的稳定性，对阳极起到保护作用的气相沉积炉安装保护装置，规范了对气相沉积炉的内部的衬底柱的拆卸操作，进而也避免了气相沉积炉内部其他元器件不被衬底柱所磕碰，尤其保护了阳极，延长了部件的使用寿命，提高了作业安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种气相沉积炉安装保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020224406.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-28
授权号 ：
CN211999908U
授权日 ：
2020-11-24
发明人 ：
张智宇李文涛
申请人 ：
天津市宝利欣超硬材料有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区北辰科技园淮河道地天泰工业园内C座
代理机构 ：
天津知远君正专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李宁
优先权 ：
CN202020224406.9
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2020-11-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
