高精度线纹标尺精度检测校准系统
授权
摘要
本实用新型涉及计量检测校准技术领域,且公开了一种高精度线纹标尺精度检测校准系统,包括光电显微光学图与线纹检测系统图,所述光电显微光学图包括有光源、聚光镜组、线纹标尺、物镜、分光棱镜、滤色片、分划板、CCD组件、光学扫描装置、狭缝、光电管;所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆、接近开关组。该高精度线纹标尺精度检测校准系统,通过设置有物镜、CCD组件与激光干涉仪等达到校准精准的目的,本实用新型发明采用包括高精密丝杆、减速机构、光电显微镜及高清晰CCD组件、精密调节机构、环境空间梯度检测、精密伺服采集控制系统(控制原理框图),其中优化的光电显微镜光路结构,使得本发明专利可以实现更高精度等级的线纹校准。
基本信息
专利标题 :
高精度线纹标尺精度检测校准系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022358899.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
CN213021506U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
刘建刚徐元玲潘流平
申请人 :
贵阳新天光电科技有限公司
申请人地址 :
贵州省贵阳市乌当区新光路9号
代理机构 :
贵阳春秋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨云
优先权 :
CN202022358899.8
主分类号 :
G01B21/04
IPC分类号 :
G01B21/04 G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/04
通过测量各点的坐标
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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