标尺光栅精度检测仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型是一种标尺光栅精度检测仪，涉及光栅数显技术领域，其特征在于采用两根具有相同栅距的标尺光栅面-面对置组合成对，通过光电探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动，测量其莫尔条纹图象的光强变化，经数字显示仪输出数据，再经数据处理得到每根标尺光栅的刻线误差。本实用新型具有测量精度高、其测量准确度不受被测标尺光栅精度的限制，重复性好、成本低、实用性强、便于操作使用等优点。
基本信息
专利标题 ：
标尺光栅精度检测仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN91214207.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1991-03-06
授权号 ：
CN2084604U
授权日 ：
1991-09-11
发明人 ：
王集交李永德郝永杰
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
中国科学院成都专利事务所
代理人 ：
张一红
优先权 ：
CN91214207.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1995-05-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-12-16 ：
授权
1991-09-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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