一种便于移动的扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于移动的扩散炉，包括外箱体、炉体；炉体包括炉筒、气体均布件；外箱体的一侧内侧壁上设置有能够将硅片通过炉口送至炉体内腔中的送料机构；外箱体的底部设置有底座；底座的底部设置有四个滚轮；底座的四个直角处各设置有一个支撑螺柱；支撑螺柱的底端与支撑座通过轴承进行转动连接。本实用新型中设置有滚轮和支撑螺柱，当需要移动本申请扩散炉时，分别旋转四个支撑螺柱，使支撑螺柱向上移动，直至滚轮接触地面，通过滚轮移动本申请扩散炉；当需要固定本申请扩散炉时，反向旋转支撑螺柱，使支撑螺柱向下移动，直至支撑座接触支撑面起到支撑作用；因此，本申请扩散炉既便于移动，又能实现支撑固定作用。
基本信息
专利标题 ：
一种便于移动的扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022389324.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-24
授权号 ：
CN213357738U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
牛新海李志坤
申请人 ：
青岛微弘设备技术有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区城阳街道前桃林社区居委会南800米
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022389324.2
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/455 C23C16/40
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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