一种半导体材料加工用冷凝成型装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体材料加工用冷凝成型装置,包括箱体、门板、模具和腔室,所述箱体的一端活动连接有门板,所述箱体的内部设置有腔室,且腔室的内部设置有冷却机构,所述冷却机构包括冷却板、冷凝管、散热鳍片、压缩机以及水道,所述冷却板设置于箱体的顶端,所述冷却板的内部设置有水道。本实用新型通过操控压缩机接通电源进行运作,压缩机会将冷凝液通过冷凝管输入到冷却板的内部,并在水道的内部进行流动,带走模具的热量,对模具内部的材料进行降温冷却,此时带有热量的冷凝液会经过散热鳍片,散热鳍片有效的增加了与空气的接触面积,加快了热量的流失,降低了压缩机的功耗,从而提高了该冷凝成型装置的冷却效果。
基本信息
专利标题 :
一种半导体材料加工用冷凝成型装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022392048.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-23
授权号 :
CN213071079U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
杜林旭
申请人 :
杜林旭
申请人地址 :
吉林省长春市双阳区长山村
代理机构 :
上海思牛达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
丁剑
优先权 :
CN202022392048.5
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67 G10K11/162 B08B17/02 F25B1/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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