本实用新型公开了一种光阻机基板应力消除机构，属于板材应力消除技术领域，该应力消除机构包括上压模、下顶模，所述的冲压板下表面设置有微矩阵结构冲压组件，上压模上下移动与下顶模相配合对基板进行微矩阵冲压；所述的下顶模包括用于承托基板的承托板，在所述的承托板表面活动装配有限位机构，限位机构之间相互配合对基板进行限位；本实用新型中的限位机构的位置可调节，实现了对不同尺寸的基板进行限位固定，另外，限位机构的侧壁上设置有导向槽，基板微矩阵冲压时稳定性较好，本实用新型中的上压模以及下顶模上设置有相互装配的固定杆和导向筒，大大提高了基板微矩阵冲压的精度，操作方便。