适用于玻璃基板的光阻清除设备
专利权的终止
摘要
本实用新型揭露一种适用于玻璃基板的光阻清除设备,该光阻清除设备包括一反应室、一传送机构及一空气内循环系统。该反应室具有一入口、一出口及一吸气口;该传送机构设置在该反应室中,用于带动玻璃基板由入口进入,经反应室再由出口送出。该空气内循环系统包括多个风刀及一抽气泵,该多个风刀设置在该反应室的内侧入口及出口的上方及下方,该抽气泵与该反应室的吸气口及风刀连通,用于将该反应室内的空气抽出,再经风刀送入反应室中,吹向传送中的玻璃基板。
基本信息
专利标题 :
适用于玻璃基板的光阻清除设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620014609.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-09-08
授权号 :
CN200989996Y
授权日 :
2007-12-12
发明人 :
黄荣龙何政贤张筱仪
申请人 :
群康科技(深圳)有限公司
申请人地址 :
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200620014609.5
主分类号 :
G03F7/42
IPC分类号 :
G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2016-11-09 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101687187381
IPC(主分类) : G03F 7/42
专利号 : ZL2006200146095
申请日 : 20060908
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 20150908
号牌文件序号 : 101687187381
IPC(主分类) : G03F 7/42
专利号 : ZL2006200146095
申请日 : 20060908
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 20150908
2008-03-19 :
实用新型专利说明书更正
号 : 50
卷 : 23
页码 : 扉页
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 群创光电股份有限公司
卷 : 23
页码 : 扉页
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 群创光电股份有限公司
2008-03-19 :
实用新型专利公报更正
号 : 50
卷 : 23
页码 : 无
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 群创光电股份有限公司
卷 : 23
页码 : 无
更正项目 : 共同专利权人
误 : 无
正 : 群创光电股份有限公司
2007-12-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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