具有吹扫气流通道的气体喷射器
授权
摘要
本实用新型为一种具有吹扫气流通道的气体喷射器，包括一机台及一气体喷射头，机台上设有气流凹槽，其周围环设有复数晶圆承载凹槽。气体喷射头则位于气流凹槽上，气体喷射头中央设置有吹扫气流通道，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，以喷出垂直气流至气流凹槽，令垂直气流撞击气流凹槽后转换为水平气流，使水平气流能喷射至周围晶圆承载凹槽内的晶圆的边角。本实用新型的吹扫气流通道具吹扫或清洁蚀刻的功能，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，搭配机台的气流凹槽的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造合格率。
基本信息
专利标题 ：
具有吹扫气流通道的气体喷射器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022423919.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN214106268U
授权日 ：
2021-09-03
发明人 ：
吴铭钦刘峰
申请人 ：
苏州雨竹机电有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
代理机构 ：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李林
优先权 ：
CN202022423919.5
主分类号 ：
B01D47/06
IPC分类号 ：
B01D47/06 B08B5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D47/00
用液体作为分离剂从气体、空气或蒸气中分离弥散的粒子
B01D47/06
喷洗
法律状态
2021-09-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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