本实用新型公开了一种光刻胶供给管路清洗装置，涉及集成电路技术领域，解决了目前对光刻胶供给管路清洗后，管路的内壁会附着残留的清洗液，从而影响供给管路清洗后首次使用的问题，其技术方案要点是：包括清洗仓，所述清洗仓中设置有出水泵，出水泵的输出端设置有延伸至清洗仓外部的清洗管；还包括干燥仓，所述干燥仓内设置有热风机和抽风机，所述热风机和抽风机的输出端分别设置有热风管和抽风管；所述热风管和抽风管的端部均设置有连接结构；达到提高整体装置实用性的效果。