一种光刻胶供给设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种光刻胶供给设备,包括:一支架;一支撑件,呈锥形设置,设置于所述支架上;其上部内径大于下部内径;一压板,位于所述支撑件的上方,与所述支架可移动连接;一调节机构,用于调节所述压板与所述支撑件之间的间距;一箱体,布置于所述支撑件内,所述箱体上的开口向下布置;一柱塞,安装在所述箱体的开口中;一供气机构;一进气管,其第一端与所述供气机构连接,其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体内,并靠近所述箱体的底部。可以在支架上设置滑槽,可以在压板上设置滑块,滑块与滑槽滑动配合。调节机构可以为螺杆,与所述支架螺纹连接,并与所述压板转动连接,通过转动螺杆带动压板下降,压持住箱体的底部,将箱体固定。
基本信息
专利标题 :
一种光刻胶供给设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114355730A
申请号 :
CN202210054957.9
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
万远涛沈琪良石峰
申请人 :
浙江光特科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市越城区群贤路与中兴大道东南角一楼107室
代理机构 :
南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹花
优先权 :
CN202210054957.9
主分类号 :
G03F7/16
IPC分类号 :
G03F7/16 B05C11/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/16
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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