一种光刻胶喷涂设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻胶喷涂设备,其结构包括喷涂台,所述喷涂台上设置有固定架,所述固定架上设置有推动器,所述推动器的下端设置有推动杆,所述推动杆的下端设置有装置箱;所述装置箱上设置有盖板、烘干器、增压泵、装胶槽和支撑柱,所述盖板通过螺纹与所述装置箱上方的右侧相连接,所述烘干器通过铆钉与所述装置箱内部的左侧相连接,所述增压泵通过铆钉与所述装置箱内部的右侧相连接,所述装胶槽位于所述装置箱内部的右上方,所述支撑柱通过焊接于所述装置箱的底部的中间处相连接;所述烘干器的下端设置有输风管。本实用新型实现了对光刻胶喷涂后进行烘干,加快了光刻胶喷涂后干燥的速度,提高了光刻胶喷涂设备的工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种光刻胶喷涂设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921819685.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-28
授权号 :
CN211359262U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
邓淇黄珍荣张洪棋
申请人 :
深圳市道尔顿电子材料有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明新区光明街道招商局光明科技园B3栋4C单元
代理机构 :
深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
霍如肖
优先权 :
CN201921819685.7
主分类号 :
B05B9/04
IPC分类号 :
B05B9/04 B05B16/20 B05B13/04 B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B9/00
喷射装置,用于排放液体或其他流体基本上不与气体或蒸气混合
B05B9/03
以供给液体或其他流体的方法为特征的
B05B9/04
带有压力容器或压缩容器;带有泵的
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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