一种光刻胶配套材料烘干设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种光刻胶配套材料烘干设备，包括连接在光刻胶涂覆机与烘干机构之间的传送机构，传送机构包括支撑架，连接在支撑架上的传动轴，套设在传动轴上的传送履带，传动轴上连接有驱动传动轴旋转的驱动机构，支撑架上连接有防尘罩。该烘干设备降低了工作人员对光刻胶晶片基板的转移的工作，提高了工作效率的同时还避免了转移过程中对晶片基板上的光刻胶造成污染，提高了光刻胶晶片基板的质量，提高了生产厂家的收益。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶配套材料烘干设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921326822.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-15
授权号 ：
CN210199499U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
李永斌
申请人 ：
甘肃华隆芯材料科技有限公司
申请人地址 ：
甘肃省白银市白银区兰包路333号(08)5幢1-01(孵化器基地)科研一号楼306室
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
李春霖
优先权 ：
CN201921326822.3
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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