本实用新型涉及烘干设备领域，采用的技术方案为：一种光刻胶配套材料烘干设备，包括箱体和设置在箱体内的承载架，所述承载架上可拆卸连接承载板，所述承载板上转动连接有用于放置晶圆的转动组件，并在所述箱体内设有驱动组件，所述驱动组件与转动组件传动相连。本实用新型的烘干设备具有电加热烘干功能，晶圆放置在承载板上的转动组件上，转动组件在驱动组件的带动下能够进行转动，同时晶圆也进行转动，此时晶圆能够充分均匀受热，能避免晶圆上表面及上表面的光刻胶受热不均匀。本实用新型的承载架和承载板之间采用可拆卸连接结构，便于对晶圆的取放。