一种光刻胶前烘设备
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种光刻胶前烘设备,包括前烘箱体和防滑底垫,所述防滑底垫安装在前烘箱体的底部外壁上,所述防滑底垫和前烘箱体通过粘接剂固定连接,所述前烘箱体靠下侧左右两端外壁内部均设置有通风孔,所述前烘箱体后端外壁内部设置有风扇,通过在该光刻胶前烘设备的透明观察玻璃中心处和底部增加有一个连接性的防雾装置,而该新型的防雾装置上的连接杆在穿过透明观察玻璃的同时又不会影响到顶盖和透明观察玻璃的密封性,通过该新型的防雾装置能够高效快速的把闭合后透明观察玻璃内壁上因高温原因产生的水蒸气凝结的水珠给清扫掉,从而能够使得使用者能够随时直观的透过透明观察玻璃而观察烘胶板上光刻胶的烘干情况。

基本信息
专利标题 :
一种光刻胶前烘设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921747486.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-18
授权号 :
CN210402014U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
佟新廷
申请人 :
昆山虹灿光电材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张浦镇商秧路999号161室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921747486.X
主分类号 :
G03F7/38
IPC分类号 :
G03F7/38  G03F7/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/38
去除影像之前的处理,例如,预烘干
法律状态
2021-10-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/38
申请日 : 20191018
授权公告日 : 20200424
终止日期 : 20201018
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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