一种IV测试仪真空转台
授权
摘要
本发明提供一种IV测试仪真空转台，其特征在于，包括转台主体和支撑单元，转台主体中间开设有镂空承载区，在转台主体的侧边缘开设有条状调节槽，所述调节槽在转台主体的两侧边对称设置，所述支撑单元设置在调节槽内并可在调节槽内进行移动。该真空转台通过在转台主体上设置可移动的支撑单元，根据承载硅片的尺寸，随时调整支撑单元的位置，以满足多种规格硅片的支撑功能，从而实现一个真空转台可兼容适应多种规格尺寸的硅片检测，中途无需更换，节约时间和人力成本，极大地提高了电池硅片整个生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种IV测试仪真空转台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022463508.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-30
授权号 ：
CN213936122U
授权日 ：
2021-08-10
发明人 ：
李永伟陈如龙陶龙忠杨灼坚唐福云蔡成周其斌张政
申请人 ：
江苏润阳悦达光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022463508.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/66 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-08-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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