工件侧周成像系统
授权
摘要

本公开提供了一种工件侧周成像系统,包括:玻璃台;超远心镜头,位于所述玻璃台的一侧,且所述超远心镜头的光轴与所述玻璃台表面所呈的第一锐角的角度范围在45度至80度之间;光源,位于所述玻璃台远离所述超远心镜头的另一侧;其中,所述光源为平面板光源或点光源,所述玻璃台为玻璃圆盘。

基本信息
专利标题 :
工件侧周成像系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022497532.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-02
授权号 :
CN214622375U
授权日 :
2021-11-05
发明人 :
崔忠伟
申请人 :
北京领邦智能装备股份公司
申请人地址 :
北京市海淀区永丰产业基地永捷北路3号标准厂房3层301室
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
孙宝海
优先权 :
CN202022497532.4
主分类号 :
G01N21/95
IPC分类号 :
G01N21/95  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-11-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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