一种制备硅单晶用石墨加热器
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摘要

本实用新型涉及石墨加热器的技术领域,特别是涉及一种制备硅单晶用石墨加热器,其能够使加热装置拆装更加方便,便于进行检修维护,使加热材料制作成本减少,降低使用局限性;包括加热箱、电控器、石墨加热筒、两组固定螺栓和密封盖,加热箱的内部设置有腔室,加热箱的顶端设置有取放口,取放口与腔室相通,电控器固定安装在加热箱的前端,腔室的底端固定设置有底座,底座的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔,石墨加热筒通过两组插块与插槽的配合固定插接在底座上,石墨加热筒的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽,加热箱上对应的设置有四组锁扣,密封盖通过锁套与锁扣的配合的固定盖装在取放口上。

基本信息
专利标题 :
一种制备硅单晶用石墨加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022502429.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-03
授权号 :
CN213186597U
授权日 :
2021-05-11
发明人 :
尹朝洁
申请人 :
弘朗新材料(上海)股份有限公司
申请人地址 :
上海市松江区泖港镇五厍工业区西厍一路18号2栋
代理机构 :
沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
喻慧玲
优先权 :
CN202022502429.4
主分类号 :
H05B3/14
IPC分类号 :
H05B3/14  
法律状态
2021-05-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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