一种MEMS光刻音叉晶体振子频率测试探针卡，其组成包括PCB电路板，其特征在于：所述PCB电路板的中上部呈扇形均匀设置有多个连接点一，所述PCB电路板的中下部正中位置横向均匀设置有多个连接点二，所述连接点二的下方设置有探针区，所述探针区内均匀固定安装有多个探针，所述连接点一、连接点二和探针从左至右一一对应且相互连通，所述连接点一处焊接有连接线，所述PCB电路板的底部两端对称设置有定位孔。本实用新型通过PCB电路板将探针和连接线集成到一个电路板上，集成度更高，使用更方便，检测效率也更高。