模块化抛光系统
授权
摘要
本文的实施例包括模块化抛光系统。在一个实施例中，抛光模块以载具支撑模块、载具装载站、和抛光站为特征。载具支撑模块以载具平台和一个或多个载具组件为特征。一个或多个载具组件各自包含从载具平台悬挂的对应承载头。载具装载站用于将基板传送到承载头和从承载头传送基板。抛光站包含抛光压板。在每个抛光模块内，载具支撑模块、基板装载站、和抛光站包含一对一对一关系。载具支撑模块定位为在设置在抛光压板上方的基板抛光位置与设置在基板装载站上方的基板传送位置之间移动一个或多个载具组件。
基本信息
专利标题 ：
模块化抛光系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022659176.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-17
授权号 ：
CN216298969U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
J·兰加拉简E·戈卢博夫斯基J·古鲁萨米S·M·苏尼卡
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN202022659176.1
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B27/00 B24B55/06 H01L21/306
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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