用于重叠计量学系统的自动配方优化
公开
摘要
本发明公开一种重叠计量学系统。所述重叠计量学系统包含经配置以与重叠计量学子系统以通信方式耦合的控制器。所述控制器接收来自所述重叠计量学子系统的重叠测量并产生一或多个质量度量。所述控制器从所述一或多个质量度量提取一组主成分。所述控制器产生输入数据并将所述输入数据输入到监督式机器学习算法的输入矩阵中以训练预测模型。所述控制器接着识别具有最小残差值的配方或硬件配置。
基本信息
专利标题 ：
用于重叠计量学系统的自动配方优化
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114514542A
申请号 ：
CN202080052179.9
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2020-07-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李玮骅魏石铭
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080052179.9
主分类号 ：
G06Q10/04
IPC分类号 ：
G06Q10/04 G06N3/04 G06N3/08 G06N20/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政；管理
G06Q10/04
预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
法律状态
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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