本发明涉及一种用于制造二氧化硅悬浮液的方法，其包含以下方法步骤：提供二氧化硅粉末和液体；将所述二氧化硅粉末与所述液体混合以获得浆液；用超声波处理所述浆液以获得前体悬浮液；使所述前体悬浮液的至少一部分穿过第一个多级过滤装置，其中所述第一个多级过滤装置具有至少第一过滤层级、第二过滤层级和第三过滤层级，其中所述第一个多级过滤装置具有至少第一过滤层级、第二过滤层级和第三过滤层级，其中每个过滤层级包含至少一个过滤器，其中所述第二过滤层级布置于所述第一过滤层级的下游并且所述第三过滤层级布置于所述第二过滤层级的下游，其中所述第一过滤层级具有5μm或更高的过滤精度，其中所述第二过滤层级具有在0.5至5μm范围内的过滤精度，其中所述第三过滤层级具有1μm或更低的过滤精度，并且其中选自所述第一过滤层级、第二过滤层级和第三过滤层级的过滤层级中的至少一个具有99.5％或更高的分离率。本发明还涉及一种可由此获得的二氧化硅悬浮液、可由此获得的颗粒和相应产物。