检测系统
公开
摘要
提供一种检测系统，其能够在保持占地面积的同时应对多种规格。该检测系统包括：多个检查室，设置有在对台上的基板进行检查时所使用的检测头；以及热介质供给部，向所述台供给热介质，其中，所述热介质供给部布置在布置有多个所述检查室的检查区域的下部区域中。
基本信息
专利标题 ：
检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303065A
申请号 ：
CN202080061614.4
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小西显太朗
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
吕琳
优先权 ：
CN202080061614.4
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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