检测系统、检测方法及检测设备
公开
摘要
本申请公开了一种检测系统、检测方法以及检测设备，该检测系统应用于半导体检测设备，所述半导体检测设备中包括至少一个光学元件，该检测系统包括检测装置和处理装置，其中，所述检测装置用于获取所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；所述处理装置用于基于所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号，确定所述至少一个光学元件的使用状态，以便于在保证所述半导体检测设备的检测精度的前提下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
检测系统、检测方法及检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624004A
申请号 ：
CN202011460088.7
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈鲁方一黄有为魏林鹏张嵩
申请人 ：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹秀
优先权 ：
CN202011460088.7
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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