使用云纹元件及旋转对称布置以成像叠加目标
公开
摘要
一种计量目标可包含具有第一图案的一或多个例子的第一旋转对称工作区及具有第二图案的一或多个例子的第二旋转对称工作区，其中所述第一图案或所述第二图案中的至少一者是由在第一样本层上的具有沿着测量方向的第一节距的第一光栅结构及在第二样本层上的具有沿着所述测量方向的不同于所述第一节距的第二节距的第二光栅结构形成的云纹图案。当所述第一样本层与所述第二层之间的叠加误差是零时，所述第一工作区及所述第二工作区的旋转对称中心通过设计可重叠。所述第一工作区及所述第二工作区的所述旋转对称中心之间的差可指示所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加误差。
基本信息
专利标题 ：
使用云纹元件及旋转对称布置以成像叠加目标
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341593A
申请号 ：
CN202080061816.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
Y·弗莱M·吉诺乌克D·沙皮罗乌E·古列维奇V·莱温斯基
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080061816.9
主分类号 ：
G01B11/25
IPC分类号 ：
G01B11/25 G01B11/27 G02B27/60 G03F7/20 G03F9/00 G06T7/33
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形，例如莫尔条纹
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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