用于分隔两个腔区域的分隔装置和方法、用于处理工件的处理设...
公开
摘要
本发明涉及一种用于分隔两个腔区域的分隔装置，其构造简单且能实现有效的流体分隔，本发明提出，分隔装置包括用于供应要带入两个腔区域之间的分隔流体的供应装置，其中供应装置优选地包括至少两个用于引导分隔流体的引导元件，该引导元件尤其构造为引导板。
基本信息
专利标题 ：
用于分隔两个腔区域的分隔装置和方法、用于处理工件的处理设备和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341579A
申请号 ：
CN202080061890.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
奥利弗·伊格劳尔-安格里克K·沃尔
申请人 ：
杜尔系统股份公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202080061890.0
主分类号 ：
F26B21/00
IPC分类号 ：
F26B21/00 F26B15/12 B05D3/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B21/00
干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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