多成像模式图像对准
公开
摘要
本发明提供用于对准运用成像子系统的不同模式产生的样品的图像的方法及系统。一种方法包含将分别运用第一模式及第二模式产生的第一图像及第二图像分开地对准到所述样品的设计。对于所述第一图像中的所关注位置，所述方法包含针对所述所关注位置及所述第一模式产生第一差异图像及针对所述所关注位置及所述第二模式产生第二差异图像。所述方法还包含使所述第一差异图像及所述第二差异图像彼此对准及从所述对准的结果确定所述所关注位置的信息。
基本信息
专利标题 ：
多成像模式图像对准
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503156A
申请号 ：
CN202080069662.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·布拉尔V·盖德
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080069662.8
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/37
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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