结合型聚焦环
公开
摘要
本发明涉及将聚焦环分离为多个而组装，由此可以仅更换暴露于等离子体而发生蚀刻消耗的部分的结合型聚焦环，其特征在于，其包括：上部等离子体暴露环，其放置在静电吸盘的上部外侧；下部导热支承环，其紧贴到上述上部等离子体暴露环的下部而被组装；结合环，其组装到上述下部导热支承环的外侧；第一结合部，其将上述上部等离子体暴露环和下部导热支承环结合；及第二结合部，其将上述上部等离子体暴露环和结合环结合。
基本信息
专利标题 ：
结合型聚焦环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600220A
申请号 ：
CN202080075253.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴珍庆
申请人 ：
TEM株式会社
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
李银花
优先权 ：
CN202080075253.9
主分类号 ：
H01J37/21
IPC分类号 ：
H01J37/21
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/21
调整聚焦的方法
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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