本发明涉及反射镜组件(30)，包括基板(31)，该基板包括正面(31a)和背面(31b)，正面(31a)具有用于反射辐射(5)的反射面(32a)并且背面(31b)背对正面(31a)，以及在背面(31b)上存在用于产生反射面(32a)的变形的至少一个致动器(27)，其中吸收水蒸汽(36)的材料，特别是有机材料(33、42)形成在基板(31)的背面(31b)上，并且其中吸收水蒸汽(36)的材料优选形成用于将至少一个致动器(27)固定在基板(31)的背面(31b)的粘合层(33)，所述粘合层(33)特别延伸到致动器(27)之间的空隙(35)中。吸收水蒸汽(36)的材料(33、42)的表面(33a、42a)，特别是粘合层(33)的表面(33a)，至少部分地、特别是完全地由形成水蒸汽扩散阻挡件的涂层(37)来覆盖。本发明还涉及光学组装件，特别是EUV光刻装置或DUV光刻装置，其包括至少一个这样的反射镜组件(30)。