一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法
授权
摘要
本发明公开了一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法，包括如下步骤：(1)将导电胶带粘贴于导电金属基体上；(2)取微米级球形颗粒粉末平铺粘在导电胶带上，并吹走多余粉末；(3)将粘有粉末的导电金属基体置于离子束抛光机内进行抛光，采用平面抛光模式，抛光角度为0～2°，抛光电压和时间为5～8kV 5～40min+3～5kV 5～20min+0.5～2kV 5～20min，即可获得满足扫描电镜观察的颗粒截面。本发明不需要包埋处理，不用消耗额外的制样耗材；时间短，成本低，操作性强；耗时仅为截面抛光模式的十分之一，抛光效率高；获得的样品有效面积大，用于扫描电镜观察的可选择区域多。
基本信息
专利标题 ：
一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112858362A
申请号 ：
CN202110023510.0
公开（公告）日 ：
2021-05-28
申请日 ：
2021-01-08
授权号 ：
CN112858362B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
邓超文婷婷洪睿杨帅周仕远刘施峰
申请人 ：
重庆大学
申请人地址 ：
重庆市沙坪坝区沙正街174号
代理机构 ：
重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
顾晓玲
优先权 ：
CN202110023510.0
主分类号 ：
G01N23/2251
IPC分类号 ：
G01N23/2251 G01N23/2202 G01N1/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束，例如扫描电子显微镜
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-06-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2251
申请日 : 20210108
申请日 : 20210108
2021-05-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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