引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质
授权
摘要
本申请提供了引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质，该引晶功率确定方法包括：获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，其中，所述特征数据用于表征所述直拉单晶炉在熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的关系；将所述特征数据输入功率预测模型，获得所述功率预测模型的输出，并将所述功率预测模型的输出确定为所述当前炉次的引晶功率，其中，所述功率预测模型通过所述直拉单晶炉的历史生产数据训练获得。本方案能够提高所确定引晶功率的准确性。
基本信息
专利标题 ：
引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112981521A
申请号 ：
CN202110180793.X
公开（公告）日 ：
2021-06-18
申请日 ：
2021-02-08
授权号 ：
CN112981521B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
程瀚侬
申请人 ：
西门子工厂自动化工程有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202110180793.X
主分类号 ：
C30B15/20
IPC分类号 ：
C30B15/20 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/20
申请日 : 20210208
申请日 : 20210208
2021-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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