本发明公开了一种具有金属方形谐振阵列的太赫兹微流传感器，该太赫兹微流传感器包括：盖层、金属矩形谐振阵列、金属反射镜面和衬底；衬底的表面设置金属反射镜面；金属反射镜面和盖层相对设置，金属反射镜面和盖层之间的空隙形成微流通道；金属矩形谐振阵列设置在微流通道内，且位于盖层的表面。金属矩形谐振阵列由多个金属矩形谐振单元组成，金属矩形谐振环单元包括两个相同的金属矩形谐振环，金属矩形谐振环螺旋绕制而成；两个金属矩形谐振环的外环相接；两个金属矩形谐振环旋转对称。本发明利用微流通道减轻水分对于太赫兹波的强吸收作用和金属方形谐振阵列位于微流通道中增加了待测液体和金属方形谐振阵列的接触面积，从而提高传感器的Q值和探测灵敏度。