具有低原子量金属电极的体声波谐振器
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摘要
本发明涉及具有低原子量金属电极的体声波谐振器。一种BAW谐振器包括：衬底，其包括声反射器；第一电极，其安置在所述声反射器之上且包括第一电极层及第二电极层，所述第一电极层包括相对较高声阻抗材料，且所述第二电极层包括相对较低声阻抗；压电层，其安置在所述第二电极层之上；及第二电极，其安置在所述压电层之上且包括第三电极层及第四电极层，所述第三电极层包括所述低声阻抗，且所述第四电极层包括所述相对较高声阻抗材料且被直接安置在所述压电层上。所述BAW谐振器的声堆叠的总厚度是大约λ/2，其中λ是对应于所述BAW谐振器的厚度伸缩谐振频率的波长。
基本信息
专利标题 ：
具有低原子量金属电极的体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110391791A
申请号 ：
CN201910247716.4
公开（公告）日 ：
2019-10-29
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN110391791B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
保罗·布拉德利约翰·D·拉森三世
申请人 ：
安华高科技股份有限公司
申请人地址 ：
新加坡新加坡市
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
林斯凯
优先权 ：
CN201910247716.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2021-05-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20190329
申请日 : 20190329
2019-10-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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