谐振器和谐振装置

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摘要

本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。

基本信息

专利标题：

谐振器和谐振装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109075766A

申请号：

CN201780026974.9

公开（公告）日：

2018-12-21

申请日：

2017-02-16

授权号：

CN109075766B

授权日：

2022-04-19

发明人：

井上义久西村俊雄竹山佳介河合良太后藤雄一

申请人：

株式会社村田制作所

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李洋

优先权：

CN201780026974.9

主分类号：

H03H9/24

IPC分类号：

H03H9/24 B81B3/00 H01L41/113 H01L41/187 H03H9/02