微机电系统谐振器设备和谐振器结构

授权

摘要

本公开的各实施例涉及微机电系统谐振器设备和谐振器结构。微机电谐振器设备具有：主体，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和第二表面，并且由第一层和第二层制成，第二层被布置在第一层上；盖，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和相应第二表面，并通过键合元件被耦合到主体；以及由移动元件、压电材料区域和顶部电极形成的压电谐振器结构，移动元件由第一层的谐振器部分构成、相对于第二层中提供的内部腔以悬臂方式悬置并且相对于盖中提供的壳体腔在相对侧悬置；压电材料区域被布置在主体的第一表面上的移动元件上；并且顶部电极被布置在压电材料区域上，移动元件构成压电谐振器结构的底部电极。根据本公开，提供了改进的谐振器。

基本信息

专利标题：

微机电系统谐振器设备和谐振器结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022198948.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-29

授权号：

CN213602620U

授权日：

2021-07-02

发明人：

F·韦尔切西L·科尔索G·阿勒加托G·加特瑞

申请人：

意法半导体股份有限公司

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

董莘

优先权：

CN202022198948.6

主分类号：

H03H9/24

IPC分类号：

H03H9/24