基于γ-石墨二炔的可调频纳机电谐振器
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摘要

本发明公开了一种基于γ‑石墨二炔的可调频纳机电谐振器,其包括:两个温控电极(1)、复合薄膜(2)、源极电极(3)、SiO2衬底(4)、栅极电极(5)、Si基底(6)、高介电陶瓷基底(7)和漏极电极(8)。两个温控电极对称分布于复合薄膜上表面两侧,复合薄膜由形状记忆聚合物温控层、聚二甲基硅氧烷介质层与γ‑石墨二炔导电层组成,复合薄膜位于源极和漏极和SiO2衬底上表面,源、漏极分别位于SiO2衬底内侧,栅极位于高介电陶瓷上表面正中位置。通过温控电极激发温控层内部大分子链活性,改变其弹性模量;控制复合薄膜抗弯刚度变化,实现谐振器大范围调频功能。本发明谐振损耗低、可靠性高,可用于射频微波通信设备。

基本信息
专利标题 :
基于γ-石墨二炔的可调频纳机电谐振器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111600564A
申请号 :
CN202010571050.0
公开(公告)日 :
2020-08-28
申请日 :
2020-06-22
授权号 :
CN111600564B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
田文超李文华冯学贵陈勇
申请人 :
西安电子科技大学
申请人地址 :
陕西省西安市太白南路2号
代理机构 :
陕西电子工业专利中心
代理人 :
王品华
优先权 :
CN202010571050.0
主分类号 :
H03H3/007
IPC分类号 :
H03H3/007  H03H3/04  H03H3/02  H03H9/02  H03H9/15  H03H9/17  
法律状态
2022-06-10 :
授权
2021-12-28 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H03H 3/007
登记生效日 : 20211216
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安电子科技大学
变更后权利人 : 西安电子科技大学
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710071 陕西省西安市太白南路2号
变更后权利人 : 710071 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
变更事项 : 申请人
变更后权利人 : 佛山市蓝箭电子股份有限公司
2020-09-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/007
申请日 : 20200622
2020-08-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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